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?位移量同步比较动态测量仪器。如测量线位移和角位移的渐开线齿形检査仪、丝杠动态检査仪，以及测量角位移和角位移的齿形单面啮合检査仪、传动链测量仪等。在这类仪器中，测量角位移大多数用光栅式传感器，测量线位移也多数用光栅式传感器。?髙精度机床上的线位移和角位移测量。如高精度的光学坐标镗床、长刻线机和圆刻线机等。?数控机床上的位移测量。当前在数控机床的检测系统中，光栅式传感器用得很普遍，如数控车床、数控铣床，以及数控滚齿机等。MEMS麦克风结构和封装示意图这些优势使MEMS麦克风成为设计的理想选择。当然，若想设计的声级计，MEMS麦克风还需弥补一些缺陷。由于MEMS麦克风是在器件级提供数字信号，因此无法从电路中单移出压力敏感腔，并单测试模拟链路。而声级计的所有相关标准都编写于2世纪7年代，并假设声级计设计包括一个单的麦克风振腔，驱动一个模拟处理链或者一个模数转换器（ADC），然后是一个数字处理链。这就要求使用电信号代替麦克风来测试声级计。
